維修布魯克斯晶圓搬運(yùn)機(jī)械手Brooks M-Phase 587820-0002
美國BROOKS公司自1978年以來,布魯克斯一直是全球半導(dǎo)體制造市場的主要合作伙伴,提供精密的機(jī)器人技術(shù),集成的自動化系統(tǒng)解決方案,為全球的芯片制造商提供幫助。
Brooks M-Phase 587820-0002機(jī)械手故障:通訊斷斷續(xù)續(xù)
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維修Brooks robot控制柜485071-017
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