三協(xié)晶圓機器人SR7165-1006維修

 

           NIDEC SANKYO三協(xié)晶圓輸送機器人的定位傳輸精度，直接決定著晶圓傳輸設(shè)備整機系統(tǒng)的傳輸精度。由于零部件構(gòu)造復(fù)雜、精度要求嚴苛等問題，排查故障的難度也比較大。

 

三協(xié)晶圓機器人SR7165-1006維修

 

       半導(dǎo)體機械手主要適應(yīng)于集成電路、芯片制造等半導(dǎo)體前段工序，用來搬送晶圓。機械手通常應(yīng)用在磨削、拋光、刻蝕、擴散、沉積、裝配、包裝和測試等的半導(dǎo)體加工步驟中，用于對半導(dǎo)體晶片進行傳輸與定位。在半導(dǎo)體設(shè)備的機械手中，主要采取負壓式吸片的方式取片，即：利用吸盤原理將半導(dǎo)體晶片吸附于石英或陶瓷手指上，并通過機械手臂的伸縮、旋轉(zhuǎn)和升降等的動作搬運半導(dǎo)體晶片。

 

三協(xié)晶圓機器人SR7165-1006維修

 

       機器人將硅晶片從盒子或處理室中取出和放入時使用。主要有陶瓷晶圓搬運手臂和金屬晶圓搬運手臂。陶瓷材料主要有氧化鋁和碳化硅等。

 

三協(xié)晶圓機器人SR7165-1006維修

 

三協(xié)晶圓機器人SR7165-1006維修

 

三協(xié)晶圓機器人SR7165-1006

三協(xié)晶圓機器人SR7165-1006結(jié)構(gòu)圖